Invar alloy: tsav tsheb ua kom tsim kho hauv cov khoom lag luam semiconductor
Raws li semiconductor cov txheej txheem tsim khoom txuas ntxiv mus ua ntej ntawm cov kab ke zoo, tsis muaj kev cuam tshuam nrog cov khoom lag luam uas tsis pom zoo tus nqi hauv lub teb ntawm Chip. Nrog nws cov kev tshwj xeeb thermal ruaj khov thiab tshuab hluav taws xob, tsis pom zoo alloy tau dhau los ua ib qho ntawm cov ntaub ntawv tseem ceeb txhawb cov txheej txheem tsim khoom lag luam.
Wafer Soj ntsuam thev naus laus zis tseem tau txais txiaj ntsig los ntawm kev thov ntawm cov ntxhiab tsw. Kev lag luam cov cuab yeej ntsuas cov cuab yeej tsim khoom lag luam muaj cov khoom siv tshuaj xyuas raws li ultra-tsawg nthuav dav tsis ntau tshaj li tsib zaug siab dua li ntawm cov ntaub ntawv ib txwm muaj. Thaum kuaj xyuas kev nkag siab ntawm 3 {{0 0mm wafers, cov platform no tuaj yeem txo cov kev ntsuas kub siab rau hauv qab 0.1nm, txhim kho cov txheej txheem tswj kev tswj cov txheej txheem.
Hauv cov txheej txheem nyias-zaj yeeb yaj kiab, cov khoom sib cuam tshuam tau pom muaj cov txiaj ntsig zoo. Cov khoom siv vapor tiag tiag (PVD) siv cov khoom siv nqus dej ua ke, uas tsis yog ua tiav cov khoom siv txij nkawm zoo dua los ntawm 30% vim nws qhov kev tiv thaiv kub siab. Cov tshuaj tiv thaiv chamber txhawb nqa qauv vapor deposition (CVD) cov khoom siv thermal deformation teeb meem nyob rau hauv cov txheej txheem kub.
Cov kws tshaj lij kev lag luam hais tias lub tswv yim tshiab ntawm cov yam ntxwv ntawm kev sib txuas ntawm thaj teb ntawm kev tsim khoom lag luam muaj tsuas yog pib. Raws li cov txheej txheem semiconductor txuas ntxiv mus evolve, cov khoom siv tsis sib haum xeeb uas muaj kev txhawb nqa rau kev nce qib ntawm Chip manufacturing thev naus laus zis.
